คำศัพท์สูญญากาศทั่วไป 8
1.ring ปะเก็น: แบบจำลองยูทิลิตี้เกี่ยวข้องกับซีลสูญญากาศแบบวงแหวน หมายเหตุ: มีวงแหวนปิดผนึกสูญญากาศต่าง ๆ ที่มีรูปร่างหน้าตัดที่แตกต่างกันเช่นวงแหวนซีล "O", "V" Seal Rings, "L" วงแหวนซีลและซีลโปรไฟ...
1.ring ปะเก็น: แบบจำลองยูทิลิตี้เกี่ยวข้องกับซีลสูญญากาศแบบวงแหวน หมายเหตุ: มีวงแหวนปิดผนึกสูญญากาศต่าง ๆ ที่มีรูปร่างหน้าตัดที่แตกต่างกันเช่นวงแหวนซีล "O", "V" Seal Rings, "L" วงแหวนซีลและซีลโปรไฟ...
1.DEGASSING: การสลายก๊าซเทียมจากวัสดุ 2.UTGASSING: ก๊าซถูกดูดซับจากวัสดุตามธรรมชาติ 3.QGU desorption หรือ outgassing หรือ degassing: ภายในช่วงเวลาที่กำหนดอัตราการไหลของก๊าซ (หรืออัตราการไหลขอ...
1.Adsorption: การดูดซับก๊าซหรือไอ (ดูดซับ) บนพื้นผิวของแข็งหรือของเหลว (ตัวดูดซับ) 2.Physisorption: การดูดซับเนื่องจากการกระทำทางกายภาพ โรงงานเครื่องเคลือบสูญญากาศระเหย 3.Chemisorption:...
1. การลดลงของก๊าซ: การเคลื่อนที่ของก๊าซในสื่ออื่นเนื่องจากความเข้มข้นของการไล่ระดับสี สื่อสามารถเป็นก๊าซอื่น (การแพร่กระจายในกรณีนี้เรียกว่า interdiffusion) หรือสารควบแน่น 2.D ค่าสัมประสิทธิ์การ...
1. อัตราการชน: ในช่วงเวลาที่กำหนดจำนวนการชนเฉลี่ยของโมเลกุล (หรืออนุภาคที่ระบุอื่น ๆ ) เมื่อเทียบกับโมเลกุลก๊าซอื่น ๆ (หรืออนุภาคที่ระบุอื่น ๆ ) หารด้วยเวลานั้น จำนวนการชนเฉลี่ยควรได้รับในจำนวนโมเล...
ช่วงของสูญญากาศ: ภูมิภาคสูญญากาศแบ่งออกเป็นประมาณดังนี้: pa torr สูญญากาศต่ำ: 10 5 ~ 10 2 760 ~ 1 สูญญากาศขนาดกลาง: 10 2 ~ 10 -1 1 ~ 10 -3 สูญญากา...
1.PA Pascal: หน่วยความดันระหว่างประเทศ 1pa = 1n/m2 2. Torr Torr: หน่วยความดัน 1 torr = 1/760 atm ซัพพลายเออร์ระบบเคลือบผิวของจีน PVD บรรยากาศมาตรฐาน ATM: หน่วยความดัน, 1ATM = 101325PA 。...
สภาพแวดล้อมมาตรฐาน: อุณหภูมิคือ 20 ℃ความชื้นสัมพัทธ์คือ 65%และความดันบรรยากาศ IS101325PA = 1013.25mbar = 760Torr 。 ซัพพลายเออร์ระบบเคลือบ PVD เงื่อนไขการอ้างอิงมาตรฐานสำหรับก๊าซ: ...
การทับถม หลักการพื้นฐาน พื้นผิวที่เป็นของแข็งถูกโจมตีด้วยอนุภาคที่มีพลัง การสปัตเตอร์ของอะตอมและโมเลกุลบนพื้นผิวที่เป็นของแข็งหลังจากแลกเปลี่ยนพลังงานจลน์กับอนุภาคที่มีพลังที่เกิดขึ้นเรียกว่า...
การชุบระเหยสูญญากาศ หลักการพื้นฐาน การเคลือบระเหยสูญญากาศเป็นวิธีการให้ความร้อนวัตถุดิบในการสร้างฟิล์มบาง ๆ ในภาชนะระเหยในห้องสูญญากาศเพื่อให้อะตอมหรือโมเลกุลหนีออกมาจากพื้นผิวและสร้างการไหลข...
วิธีการตรวจจับการรั่วไหลของสูญญากาศทั่วไป การตรวจจับการรั่วไหลของประกายไฟความถี่สูง วิธีนี้ใช้ได้เฉพาะกับ ซัพพลายเออร์เครื่องเคลือบไอออนหลายอาร์คจีน ระบบสูญญากาศแก้ว ร...
วิธีการตรวจจับการรั่วไหลของเครื่องวัดสูญญากาศ การอ่านมาตรวัดสุญญากาศบางตัวเกี่ยวข้องกับประเภทของก๊าซเช่นเทอร์โมคัปเปิลและมาตรวัดสูญญากาศไอออไนเซชัน การเลือกก๊าซหรือของเหลวที่เหมาะสมเป็นวัสดุรั่ว...