หลักการโครงสร้างของเครื่องเคลือบสูญญากาศ

ปัจจุบันเครื่องเมมเบรนเป็นอุปกรณ์ที่ใช้กันอย่างแพร่หลายมากที่สุดสำหรับการทำสภาวะสุญญากาศ ส่วนประกอบและส่วนประกอบที่เกี่ยวข้อง: ปั๊มเชิงกล บูสเตอร์ปั๊ม ปั๊มกระจายน้ำมัน ปั๊มคอนเดนเสท ระบบวัดสุญญากาศ
ร่างกายสูญญากาศ-ห้องสูญญากาศมีความต้องการที่แตกต่างกันตามผลิตภัณฑ์แปรรูปและขนาดของห้องสูญญากาศก็แตกต่างกัน ปัจจุบันนิยมใช้กันมากที่สุด 1.3M, 0.9M, 1.5M, 1.8M เป็นต้น ตัวโถทำจากสแตนเลสตามข้อกำหนด สนิม แข็ง ฯลฯ. มีวาล์วเชื่อมต่อในแต่ละส่วนของสุญญากาศ ห้องซึ่งใช้เชื่อมต่อปั๊มดูดแต่ละตัว เครื่องเคลือบสูญญากาศ

ส่วนใหญ่แบ่งออกเป็น 4 ส่วน หน่วยสูญญากาศ กล่องสูญญากาศ ระบบระเหย ระบบควบคุม
หน่วยสามารถแบ่งออกเป็น: สูญญากาศต่ำ, สูญญากาศสูง, หน่วยปั๊มราก, หน่วยปั๊มกระจาย, หน่วยปั๊มโมเลกุล, หน่วยแช่แข็ง, ฯลฯ
การระเหยแบ่งออกเป็น: การระเหยของลำแสงอิเล็กตรอน, การระเหยด้วยความร้อนด้วยความต้านทาน, การระเหยด้วยแมกนีตรอนสปัตเตอร์, การระเหยหลายอาร์ค