อะไรคือขั้นตอนในการใช้เครื่องเคลือบสูญญากาศ？

เครื่องเคลือบสูญญากาศ ส่วนใหญ่หมายถึงประเภทของการเคลือบที่ต้องดำเนินการภายใต้สุญญากาศที่สูงขึ้นรวมถึงหลายประเภทรวมถึงการระเหยด้วยความร้อนด้วยความต้านทานสูญญากาศ, การระเหยความร้อนของปืนอิเล็กตรอน, แมกนีตรอนสปัตเตอร์, epitaxy ลำแสงโมเลกุล MBE, PLD เลเซอร์สปัตเตอร์สะสม, ไอออน มีมากมาย ชนิดของลำแสงสปัตเตอร์ แนวคิดหลักแบ่งออกเป็นสองประเภทคือการระเหยและการสปัตเตอร์

การทำงานของตู้ควบคุมไฟฟ้า
1. เปิดเครื่องสูบน้ำและแหล่งอากาศ
2. เปิดแหล่งจ่ายไฟหลัก
3. เปิดแหล่งจ่ายไฟของปั๊มบำรุงรักษาและมาตรวัดสุญญากาศ ตำแหน่งมาตรวัดสุญญากาศ V1 รอค่าน้อยกว่า 10 แล้วเข้าสู่ขั้นตอนถัดไป ใช้เวลาประมาณ 5 นาที
4. เปิดปั๊มเชิงกล ปั๊มล่วงหน้า เปิดพลังของปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ แล้วสตาร์ท สวิตช์มาตรวัดสุญญากาศเปลี่ยนเป็นตำแหน่ง V2 ใช้เวลาประมาณ 20 นาทีในการปั๊มลงเหลือน้อยกว่า 2
5. หลังจากสังเกตว่าค่าที่อ่านได้ของปั๊ม turbomolecular ถึง 250 ให้ปิดปั๊มล่วงหน้า เปิดปั๊มสำรอง และวาล์วสูญญากาศสูงเพื่อดูดฝุ่นต่อไป หลังจากที่สุญญากาศถึงระดับหนึ่งแล้ว ให้เปิดเกจสุญญากาศระดับสูงทางด้านขวาเพื่อสังเกตสุญญากาศ หลังจากสุญญากาศถึง 2×10-3 เท่านั้นจึงจะสามารถเปิดแหล่งจ่ายไฟของปืนอิเล็กตรอนได้

การทำงานของ DEF-6B
1. แหล่งจ่ายไฟทั้งหมด
2. เปิดการควบคุมปืนอิเล็กตรอน Ⅰ และการควบคุมปืนอิเล็กตรอน Ⅱ แหล่งจ่ายไฟพร้อมกัน: กดตัวควบคุมปืนอิเล็กตรอน Ⅰ แหล่งจ่ายไฟ สวิตช์หน่วงเวลา หน่วงเวลา แหล่งจ่ายไฟ และไฟป้องกันเปิดอยู่ หลังจากสามนาที ไฟหน่วงเวลาและไฟป้องกันจะดับลง หากประตูหลังไม่ปิดหรือรีเลย์กระแสน้ำเสีย ไฟป้องกันจะสว่างตลอดเวลา
3. เมื่อเปิดไฟฟ้าแรงสูง แรงดันสูงจะถึงมากกว่า 10KV กระแสลำแสงสามารถปรับได้ประมาณ 200mA กริดม่าน 20V/100mA กระแสไส้เป็น 1.2A และกระแสการโก่งตัวชิงช้าระหว่าง 1 และ 1.7

ลำดับการปิดระบบ
1. ปิดมิเตอร์สูญญากาศสูงและปั๊มโมเลกุล
2. เมื่อปั๊มโมเลกุลแสดงผลถึง 50 ให้ปิดวาล์วสูง สเตจด้านหน้า และปั๊มเชิงกลในทางกลับกัน ช่วงเวลานี้ใช้เวลาประมาณ 40 นาที
3. เมื่อต่ำกว่า 50 ให้ปิดปั๊มบำรุงรักษาอีกครั้ง