อะไรคือองค์ประกอบหลักของระบบเคลือบสูญญากาศ?

1. ห้องสุญญากาศ

อุปกรณ์เคลือบ ส่วนใหญ่มีสองรูปแบบ: สายการผลิตเคลือบต่อเนื่องและเครื่องเคลือบห้องเดียว, การผลิตวัสดุสแตนเลส, การเชื่อมอาร์กอาร์กอน, การขัดผิวด้วยสารเคมีพื้นผิว และข้อกำหนดต่างๆของส่วนต่อประสานหน้าแปลนจะเชื่อมบนส่วนประกอบห้องสุญญากาศ

2, ส่วนการได้มาซึ่งสูญญากาศ

ในเทคโนโลยีสูญญากาศ ชิ้นส่วนดูดสูญญากาศเป็นส่วนสำคัญ การได้มาซึ่งสุญญากาศไม่สามารถทำได้ด้วยอุปกรณ์และวิธีการสุญญากาศเพียงวิธีเดียว ต้องใช้ปั๊มหลายตัวร่วมกัน เช่น ปั๊มเชิงกล ปั๊มรูท ระบบปั๊มโมเลกุล ฯลฯ

3 ส่วนการวัดสูญญากาศ

ส่วนการวัดสุญญากาศของระบบสุญญากาศคือการวัดความดันในห้องสุญญากาศ เช่นเดียวกับปั๊มสุญญากาศ ไม่มีเกจสุญญากาศใดที่สามารถวัดช่วงสุญญากาศทั้งหมดได้ ดังนั้นผู้คนจึงสร้างเกจสุญญากาศหลายประเภทตามหลักการและข้อกำหนดที่แตกต่างกัน เช่น เครื่องวัดเทอร์โมคัปเปิล เครื่องวัดไอออไนซ์ เครื่องวัดพีรานี เป็นต้น

4. ส่วนจ่ายไฟ

แหล่งจ่ายไฟเป้าหมายส่วนใหญ่ประกอบด้วยแหล่งจ่ายไฟ DC แหล่งจ่ายไฟความถี่กลาง แหล่งจ่ายไฟพัลส์ และแหล่งจ่ายไฟความถี่วิทยุ (RF) ผู้ผลิตแหล่งจ่ายไฟทั่วไป ได้แก่ AE, ADL, Hottinger เป็นต้น

5. ประมวลผลระบบป้อนก๊าซ

ก๊าซในกระบวนการ เช่น อาร์กอน (Ar), คริปทอน (Kr), ไนโตรเจน (N2), อะเซทิลีน (C2H2), มีเทน (CH4), ไฮโดรเจน (H2), ออกซิเจน (O2) ฯลฯ มักมาจากถังแก๊ส วาล์วลดแรงดันแก๊ส, วาล์วหยุดแก๊ส, ท่อส่ง, เครื่องวัดการไหลของแก๊ส, โซลินอยด์วาล์ว, วาล์วเพียโซอิเล็กทริก แล้วจึงเข้าไปในห้องสุญญากาศ ข้อดีของระบบป้อนก๊าซนี้คือท่อส่งเรียบง่ายและชัดเจน และง่ายต่อการซ่อมแซมหรือเปลี่ยนถังแก๊ส เครื่องเคลือบไม่ส่งผลกระทบซึ่งกันและกัน นอกจากนี้ยังมีกรณีที่เครื่องเคลือบหลายเครื่องใช้ชุดถังแก๊สร่วมกัน สถานการณ์นี้อาจพบเห็นได้ในการประชุมเชิงปฏิบัติการการเคลือบขนาดใหญ่บางแห่ง ข้อดีคือลดการใช้ถังแก๊ส การวางแผนแบบรวมศูนย์ และการจัดวางแบบรวมศูนย์ ข้อเสียคือเนื่องจากจำนวนข้อต่อที่เพิ่มขึ้น โอกาสที่อากาศจะรั่วจะเพิ่มขึ้น นอกจากนี้ เครื่องเคลือบจะรบกวนซึ่งกันและกัน และท่อส่งของเครื่องเคลือบหนึ่งอาจรั่วไหลของอากาศ ซึ่งอาจส่งผลต่อคุณภาพผลิตภัณฑ์ของเครื่องเคลือบอื่น ๆ นอกจากนี้ เมื่อเปลี่ยนถังแก๊ส จำเป็นต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าเครื่องจักรทั้งหมดอยู่ในสถานะที่ไม่ใช่ก๊าซ

6. ส่วนเกียร์กล

การเคลือบต้องการให้ความหนาของขอบต้องสม่ำเสมอ ดังนั้นต้องมีการหมุนสามครั้งในกระบวนการเคลือบเพื่อให้เป็นไปตามข้อกำหนด กล่าวคือ ในขณะที่ต้องหมุนโต๊ะชิ้นงานขนาดใหญ่ (I) ตัวยึดชิ้นงานขนาดเล็กก็จะหมุน (II) และตัวชิ้นงานสามารถหมุนได้พร้อมกัน (III) ในการออกแบบกลไก โดยทั่วไปจะมีเฟืองขับขนาดใหญ่อยู่ตรงกลางด้านล่างของแท่นหมุนชิ้นงานขนาดใหญ่ และล้อรูปดาวขนาดเล็กบางล้อประกบกัน หากต้องหมุนผลิตภัณฑ์ โดยทั่วไปชิ้นงานจะหมุนด้วยส้อมกะ

7 ส่วนการวัดอุณหภูมิและความร้อน

อุปกรณ์เคลือบโดยทั่วไปมีตัวทำความร้อนในตำแหน่งต่างๆ และใช้เทอร์โมคัปเปิลเพื่อวัดและควบคุมอุณหภูมิ อย่างไรก็ตาม เนื่องจากตำแหน่งการจับยึดเทอร์โมคัปเปิลแตกต่างจากตำแหน่งชิ้นงาน การอ่านอุณหภูมิจึงไม่สามารถเป็นอุณหภูมิที่แท้จริงของชิ้นงานได้ การวัดอุณหภูมิที่แท้จริงของชิ้นงานทำได้หลายวิธี คุณสามารถติดตั้งกระดาษทดสอบอุณหภูมิสูงหรือเครื่องวัดเทอร์โมคัปเปิลบนชิ้นงานได้

8. การระเหยไอออนและแหล่งกำเนิดสปัตเตอร์

แหล่งการระเหยของการชุบ 　　 แบบหลายอาร์คนั้นโดยทั่วไปแล้วจะมีรูปร่างเหมือนเค้กทรงกลม หรือที่เรียกกันทั่วไปว่าเป้าเค้กทรงกลม และยังมีเป้าหลายส่วนแบบสี่เหลี่ยมผืนผ้าอีกด้วย ติดตั้งแม่เหล็กในฐานเป้าหมาย การเคลื่อนแม่เหล็กไปมา ความเข้มของสนามแม่เหล็กจะเปลี่ยนไป และสามารถปรับความเร็วในการเคลื่อนที่และวิถีของจุดโค้งได้ เพื่อลดอุณหภูมิของเป้าหมายและฐานเป้าหมาย ฐานเป้าหมายจะต้องจัดหาน้ำหล่อเย็นอย่างต่อเนื่อง เพื่อให้แน่ใจว่ามีการนำไฟฟ้าและความร้อนสูงระหว่างชิ้นงานและฐานเป้าหมาย สามารถเพิ่มปะเก็นดีบุกระหว่างชิ้นงานกับฐานเป้าหมายได้ การเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอร์โดยทั่วไปใช้แคโทดสปัตเตอร์รูปสี่เหลี่ยมผืนผ้าหรือทรงกระบอก

9 ระบบระบายความร้อนด้วยน้ำ

โดยทั่วไปประกอบด้วยหอน้ำเย็น เครื่องทำน้ำแข็ง ปั๊มน้ำ ฯลฯ

10, ระบบควบคุมอุตสาหกรรม