วิธีการตรวจหารอยรั่วของสุญญากาศทั่วไป

การตรวจจับการรั่วโดยฮีเลียมแมสสเปกโตรเมตรี

เทคโนโลยีนี้เป็นเทคโนโลยีที่ขาดไม่ได้ในด้านการตรวจจับการรั่วไหลของสุญญากาศ มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการตรวจจับรอยรั่วเนื่องจากมีประสิทธิภาพในการตรวจจับรอยรั่วสูง ใช้งานง่าย ตอบสนองต่อเครื่องมือที่มีความละเอียดอ่อน มีความแม่นยำสูงและไม่ ประเทศจีน ระบบเคลือบ PVD ซัพพลายเออร์ ก๊าซอื่นรบกวนได้ง่าย เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของแมสสเปกโตรมิเตอร์ฮีเลียมเป็นเครื่องมือตรวจจับความหนาแน่นของก๊าซชนิดหนึ่งตามหลักการแมสสเปกโตรเมตรีซึ่งใช้ฮีเลียมเป็นก๊าซบ่งชี้การรั่วไหล ประกอบด้วยแหล่งกำเนิดไอออน เครื่องวิเคราะห์ ตัวเก็บประจุ เกจวัดไอออไนซ์ของแคโทดเย็น ห้องแมสสเปกโตรเมทรี ระบบไอเสีย และชิ้นส่วนไฟฟ้า อิเล็กตรอนที่ปล่อยออกมาจากเส้นใยในห้องแมสสเปกโตรเมทรีจะแกว่งไปมาในห้องและชนกับก๊าซในอาคารและฮีเลียมที่เข้าสู่ห้องผ่านรูรั่วเพื่อทำให้แตกตัวเป็นไอออนเป็นไอออนบวก ฮีเลียมไอออนเหล่านี้จะเข้าสู่สนามแม่เหล็กภายใต้สมองซีกซ้ายและซีกขวาของสนามไฟฟ้าที่เร่งความเร็ว และเบี่ยงเบนเนื่องจากการกระทำของแรงลอเรนทซ์ ก่อตัวเป็นวงโค้งเป็นวงกลมและเปลี่ยนสนามไฟฟ้าที่เร่งความเร็ว ความดันทำให้สามารถตรวจจับไอออนที่มีมวลต่างกันได้โดยการไปถึงขั้วรับผ่านสนามแม่เหล็กและช่องรับ วิธีการฉีดฮีเลียมและวิธีการดูดกลืนฮีเลียมเป็นวิธีการสองวิธีที่ใช้บ่อยที่สุดในการตรวจจับรอยรั่วของฮีเลียมแมสสเปกโตรมิเตอร์