หลักการทำงานของการชุบเคลือบแคโทดิกอาร์กไอออนคืออะไร?

ประการแรก เข็มกระแทกส่วนโค้ง (แอโนด) ที่มีศักยภาพเชิงบวกอยู่ใกล้กับเป้าหมาย (แคโทด) ที่มีศักยภาพเชิงลบ เมื่อระยะห่างระหว่างแอโนดและแคโทดมีน้อยเพียงพอ ก๊าซระหว่างอิเล็กโทรดทั้งสองจะถูกทำลายลง ทำให้เกิดกระแสอาร์ค ซึ่งคล้ายกับอาร์คที่โดดเด่นของการเชื่อมไฟฟ้า ในเวลานี้ ส่วนหนึ่งของ N2 ถูกทำให้แตกตัวเป็นไอออนเพื่อสร้างไอออนไนโตรเจนและอิเล็กตรอน

ดึงดูดโดยแรงสนามไฟฟ้า ไอออนบวกของไนโตรเจนจะบินไปยังแคโทดใกล้กับเป้าหมาย และอิเล็กตรอนจะบินไปยังเข็มจุดไฟอาร์ค อย่างไรก็ตาม มวลของไอออนนั้นมากกว่ามวลของอิเล็กตรอนมาก ดังนั้นภายใต้แรงสนามไฟฟ้าเดียวกัน ระยะการเคลื่อนที่ของอิเล็กตรอนจะมากกว่าของไอออนบวก ดังนั้นเมื่ออิเล็กตรอนไปถึงแอโนด ไอออนจะไม่ไปถึงเป้าหมายของแคโทด แต่จะบินไปที่เข็มจุดไฟอาร์ค ชั้นการสะสมของไอออนบวกจะก่อตัวขึ้นใกล้กับพื้นผิวเป้าหมาย

ระยะห่างระหว่างไอออนบวกกับพื้นผิวเป้าหมายแคโทดมีขนาดเล็กมากจนถึงระดับไมครอน จากข้อมูลของ e = u / D จะเห็นได้ว่าสนามไฟฟ้าในอวกาศนั้นสูงมากในเวลานี้ ซึ่งจะ "ดึง" อิเล็กตรอนออกจากเป้าหมาย อิเล็กตรอน "ดึง" จะบินจากเป้าหมายแคโทดไปยังชั้นสะสมไอออนบวก ก่อตัวเป็นกระแส เลเยอร์การเรียงซ้อนเชื่อมต่อกับพื้นผิวเป้าหมาย และสร้างส่วนโค้งใกล้กับพื้นผิวเป้าหมาย

ในเวลาเดียวกัน อิออนบวกจะถูกดึงดูดโดยพื้นผิวเป้าหมายของแคโทด ซึ่งทำให้ไอออนบวกพุ่งไปที่พื้นผิวเป้าหมายและทำให้เกิดการสปัตเตอร์ เนื่องจากอนุภาคฟิล์มระเหยหรือสปัตเตอร์จำเป็นต้องผ่านชั้นสะสมไอออนบวก และในกระบวนการบินออกจากพื้นผิวเป้าหมายแคโทด อนุภาคฟิล์มจะได้รับผลกระทบจากส่วนโค้งที่พื้นผิวเป้าหมาย ดังนั้นอนุภาคส่วนใหญ่ มาถึงชิ้นงานเป็นสถานะไอออนิก

แรงดันไบอัสเชิงลบมักจะใช้กับชิ้นงาน ดังนั้นไอออนบวกจึงบินไปยังชิ้นงานภายใต้การกระทำของแรงสนามไฟฟ้า และทิ้งระเบิดชิ้นงาน ผู้ผลิตเครื่องเคลือบ DLC . การทิ้งระเบิดนี้จะช่วยปรับปรุงการยึดเกาะของฟิล์มและทำให้แรงเสียดทานหนาแน่น ซึ่งเป็นประโยชน์อย่างมากในการปรับปรุงคุณภาพของฟิล์ม

หากคุณต้องการทราบข้อมูลเพิ่มเติม คุณสามารถติดต่อเราได้

NINGBO DANKO สูญญากาศ TECHNOLOGY CO.,LTD.

ซาร่า

โทรศัพท์: 86-15867869979

อีเมล: [email protected]

วีแชท :15867869979

WhatsApp:  86-15867869979