การให้คำปรึกษาด้านผลิตภัณฑ์
ที่อยู่อีเมลของคุณจะไม่ถูกเผยแพร่ ฟิลด์ที่ต้องการจะถูกทำเครื่องหมาย -
การสปัตเตอร์เป็นเทคนิคทั่วไปสำหรับการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) เครื่องเคลือบสูญญากาศฟิล์มแข็งของจีน หนึ่งในวิธีการผลิตฟิล์มบาง ๆ การสปัตเตอร์มาตรฐานใช้เป้าหมายของวัสดุบริสุทธิ์ที่ต้องการและก๊าซเฉื่อยมักจะเป็นอาร์กอน
หากวัสดุเป็นองค์ประกอบทางเคมีบริสุทธิ์เดี่ยวอะตอมจะหลุดออกจากเป้าหมายในรูปแบบนั้นและฝากไว้ในรูปแบบนั้น
อย่างไรก็ตามมันยังเป็นไปได้ที่จะใช้ก๊าซที่ไม่เฉื่อยเช่นออกซิเจนหรือไนโตรเจนแทนหรือ (โดยทั่วไป) นอกเหนือจากก๊าซเฉื่อย (อาร์กอน) เมื่อทำสิ่งนี้เสร็จแล้วก๊าซที่ไม่เป็นไอออนที่ไม่ได้รับการผสมสามารถทำปฏิกิริยาทางเคมีกับเมฆวัสดุเป้าหมายและผลิตสารประกอบโมเลกุลซึ่งจะกลายเป็นฟิล์มที่สะสม ตัวอย่างเช่นเป้าหมายซิลิกอนที่สปัตเตอร์ทำปฏิกิริยากับก๊าซออกซิเจนสามารถผลิตฟิล์มซิลิกอนออกไซด์หรือก๊าซไนโตรเจนสามารถผลิตฟิล์มซิลิกอนไนไตรด์ 3333333
ที่อยู่อีเมลของคุณจะไม่ถูกเผยแพร่ ฟิลด์ที่ต้องการจะถูกทำเครื่องหมาย -