เครื่องเคลือบสูญญากาศแมกนีตรอนสปัตเตอร์คืออะไรและทำงานอย่างไร?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

เครื่องเคลือบสูญญากาศแมกนีตรอนสปัตเตอร์คืออะไรและทำงานอย่างไร?

เครื่องเคลือบสูญญากาศ Magnetron สปัตเตอร์เป็นเทคโนโลยีที่ทันสมัยที่ใช้สำหรับการสะสมฟิล์มบาง ๆ บนพื้นผิวที่หลากหลาย แต่มันคืออะไรและมันทำงานอย่างไร?

ที่แกนกลางของมันคือ เครื่องเคลือบสูญญากาศ Magnetron เป็นห้องหุ่นยนต์สูงที่มีวัสดุเป้าหมายโดยทั่วไปคือโลหะหรือโลหะผสมและสารตั้งต้นที่จะเคลือบ กระบวนการนี้เกี่ยวข้องกับการทิ้งระเบิดของวัสดุเป้าหมายโดยไอออนพลังงานสูงซึ่งกำจัดอะตอมจากพื้นผิวของมันและฝากไว้บนพื้นผิวทำให้เกิดฟิล์มบาง ๆ

หนึ่งในส่วนประกอบสำคัญของเครื่องเคลือบสูญญากาศแมกนีตรอนคือ Magnetron ซึ่งเป็นแหล่งพลาสมาชนิดหนึ่งที่สร้างพลาสมาที่มีไอออนสูงในห้อง Magnetron ประกอบด้วยแคโทด (วัสดุเป้าหมาย) ขั้วบวกและสนามแม่เหล็ก สนามแม่เหล็กทำหน้าที่ จำกัด พลาสมาและเพิ่มการแตกตัวเป็นไอออนของโมเลกุลก๊าซในห้องเพื่อสปัตเตอร์ที่มีประสิทธิภาพมากขึ้น

กระบวนการเริ่มต้นด้วยการสูบลงห้องไปยังสุญญากาศสูงโดยทั่วไปประมาณ 10^-6 torr วัสดุเป้าหมายจะถูกทิ้งระเบิดด้วยไอออนซึ่งทำให้อะตอมของมันล้มลงและสร้างฟลักซ์ของอนุภาคที่วางลงบนพื้นผิว อัตราการสะสมและคุณสมบัติของฟิล์มสามารถควบคุมได้โดยการปรับฟลักซ์ไอออนแรงดันไฟฟ้าเป้าหมายและความดันในห้อง

หนึ่งในข้อดีของเครื่องเคลือบสูญญากาศ Magnetron คือความสามารถรอบตัว มันสามารถใช้ในการฝากวัสดุที่หลากหลายรวมถึงโลหะโลหะผสมเซรามิกและเซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ยังสามารถใช้ในการสร้างการเคลือบหลายชั้นซึ่งสามารถมีคุณสมบัติที่เป็นเอกลักษณ์เช่นความแข็งที่ดีขึ้นความต้านทานการสึกหรอหรือคุณสมบัติทางแสง

ข้อได้เปรียบอีกประการหนึ่งของเครื่องเคลือบสูญญากาศแมกนีตรอนคือระดับความสม่ำเสมอในระดับสูง สนามแม่เหล็กในห้องทำหน้าที่กระจายฟลักซ์ไอออนอย่างสม่ำเสมอทั่วพื้นผิวของเป้าหมายไปยังอัตราการสะสมและความหนาของฟิล์มที่สม่ำเสมอยิ่งขึ้น

โดยสรุปเครื่องเคลือบสูญญากาศแมกนีตรอนสปัตเตอร์เป็นเทคโนโลยีที่มีความซับซ้อนสูงซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเช่นการบินและอวกาศอิเล็กทรอนิกส์และทัศนศาสตร์ ความสามารถในการฝากวัสดุที่หลากหลายสร้างการเคลือบหลายชั้นและผลิตฟิล์มสม่ำเสมอสูงทำให้เป็นเครื่องมือที่ขาดไม่ได้สำหรับการวิจัยและพัฒนารวมถึงการผลิตขนาดใหญ่

ระบบการสะสม DC Magnetron Sputtering

การเคลือบไอออนและสปัตเตอร์แบบหลายอาร์คสามารถฝากได้ในหลากหลายสี เสียงดังขึ้นสามารถเพิ่มขึ้นได้โดยการแนะนำก๊าซปฏิกิริยาเข้าไปในห้องในระหว่างกระบวนการสะสม ก๊าซปฏิกิริยาที่ใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับการเคลือบตกแต่ง ได้แก่ ไนโตรเจน, ออกซิเจน, อาร์กอนหรืออะเซทิลีน การเคลือบตกแต่งจะผลิตในช่วงสีที่แน่นอนขึ้นอยู่กับอัตราส่วนโลหะต่อก๊าซในการเคลือบและโครงสร้างของการเคลือบ ปัจจัยทั้งสองนี้สามารถเปลี่ยนแปลงได้โดยการเปลี่ยนพารามิเตอร์การสะสม

ก่อนที่จะมีการสะสมชิ้นส่วนจะถูกทำความสะอาดเพื่อให้พื้นผิวปราศจากฝุ่นหรือสิ่งสกปรกทางเคมี เมื่อกระบวนการเคลือบได้เริ่มต้นพารามิเตอร์กระบวนการที่เกี่ยวข้องทั้งหมดจะได้รับการตรวจสอบและควบคุมอย่างต่อเนื่องโดยระบบควบคุมคอมพิวเตอร์อัตโนมัติ

•วัสดุพื้นผิว: แก้ว, โลหะ (เหล็กกล้าคาร์บอน, สแตนเลส, ทองเหลือง), เซรามิก, พลาสติก, เครื่องประดับ

•ประเภทโครงสร้าง: โครงสร้างแนวตั้ง #304 สแตนเลส

•ฟิล์มเคลือบผิว: ฟิล์มโลหะอเนกประสงค์, ฟิล์มคอมโพสิต, ฟิล์มนำไฟฟ้าแบบโปร่งใส, ฟิล์มที่เพิ่มขึ้นสะท้อนแสง, ฟิล์มป้องกันแม่เหล็กไฟฟ้า, ฟิล์มตกแต่ง

•สีฟิล์ม: หลายสี, ปืนสีดำ, สีทองไทเทเนียม, สีทองกุหลาบ, สีสแตนเลส, สีม่วง, สีดำเข้ม, สีน้ำเงินเข้มและสีอื่น ๆ

•ประเภทภาพยนตร์: TIN, CRN, ZRN, TICN, TICRN, TINC, TIALN และ DLC

•วัสดุสิ้นเปลืองในการผลิต: ไทเทเนียม, โครเมียม, เซอร์โคเนียม, เหล็ก, เป้าหมายโลหะผสม; เป้าหมายระนาบเป้าหมายทรงกระบอกเป้าหมายคู่เป้าหมายตรงข้ามเป้าหมาย

แอปพลิเคชัน:

•เครื่องแก้วเช่นถ้วยแก้วโคมไฟแก้วงานศิลปะแก้ว

•เปลือกโทรศัพท์พลาสติกชิ้นส่วนโทรศัพท์

•กระเบื้องโมเสค

•อุตสาหกรรมอิเล็กตรอนเช่นภาพยนตร์ EMI

•นาฬิกาชิ้นส่วนเช่นเคสดูและเข็มขัด

•เครื่องใช้บนโต๊ะเช่นส้อมโลหะและมีด

•เครื่องกอล์ฟเช่นหัวกอล์ฟเสากอล์ฟและลูกกอล์ฟ

•ผลิตภัณฑ์สุขาภิบาล/เครื่องใช้ในห้องน้ำ

•มือจับประตูและล็อค

•เครื่องประดับโลหะ

แบ่งปัน: