องค์ประกอบหลักของระบบเคลือบสูญญากาศคืออะไร?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

องค์ประกอบหลักของระบบเคลือบสูญญากาศคืออะไร?

1. ห้องสูญญากาศ

อุปกรณ์เคลือบ ส่วนใหญ่มีสองรูปแบบ: สายการผลิตสารเคลือบผิวอย่างต่อเนื่องและเครื่องเคลือบห้องเดี่ยวการผลิตวัสดุสแตนเลสการเชื่อมอาร์คอาร์คการรักษาด้วยสารเคมีพื้นผิวและข้อกำหนดต่าง ๆ ของอินเทอร์เฟซหน้าแปลนจะเชื่อมกับส่วนประกอบห้องสูญญากาศ

2, ส่วนการซื้อสูญญากาศ

ในเทคโนโลยีสูญญากาศส่วนการซื้อสุญญากาศเป็นส่วนสำคัญ การได้มาซึ่งสูญญากาศไม่สามารถทำได้โดยอุปกรณ์และวิธีการสูญญากาศเดียว ต้องใช้ปั๊มหลายชนิดในการรวมกันเช่นปั๊มเชิงกล, ปั๊มราก, ระบบปั๊มโมเลกุล ฯลฯ

3 ส่วนวัดสูญญากาศ

ส่วนการวัดสูญญากาศของระบบสูญญากาศคือการวัดความดันในห้องสูญญากาศ เช่นเดียวกับปั๊มสุญญากาศไม่มีมาตรวัดสูญญากาศสามารถวัดช่วงสูญญากาศทั้งหมดได้ดังนั้นผู้คนจึงทำมาตรวัดสูญญากาศหลายประเภทตามหลักการและข้อกำหนดที่แตกต่างกัน เช่นเครื่องวัดเทอร์โมคัปเปิลเครื่องวัดไอออนไนซ์มิเตอร์ pirani ฯลฯ

4. ชิ้นส่วนแหล่งจ่ายไฟ

แหล่งจ่ายไฟเป้าหมายส่วนใหญ่ประกอบด้วยแหล่งจ่ายไฟ DC แหล่งจ่ายไฟความถี่ระดับกลางแหล่งจ่ายไฟพัลส์และแหล่งจ่ายไฟความถี่วิทยุ (RF) ผู้ผลิตแหล่งจ่ายไฟทั่วไป ได้แก่ AE, ADL, Hottinger ฯลฯ

5. กระบวนการอินพุตก๊าซกระบวนการ

กระบวนการก๊าซเช่น Argon (AR), Krypton (KR), ไนโตรเจน (N2), acetylene (C2H2), มีเธน (CH4), ไฮโดรเจน (H2), ออกซิเจน (O2) ฯลฯ โดยทั่วไปจะจัดหาโดยถังก๊าซ วาล์วลดแรงดันแก๊ส, วาล์วหยุดแก๊ส, ท่อ, เครื่องวัดการไหลของก๊าซ, วาล์วโซลินอยด์, วาล์วเพียโซอิเล็กทริกและจากนั้นเข้าไปในห้องสูญญากาศ ข้อได้เปรียบของระบบอินพุตก๊าซนี้คือไปป์ไลน์นั้นง่ายและชัดเจนและง่ายต่อการซ่อมแซมหรือเปลี่ยนถังก๊าซ เครื่องเคลือบไม่ส่งผลกระทบต่อกันและกัน นอกจากนี้ยังมีกรณีที่เครื่องเคลือบหลายเครื่องแบ่งปันชุดถังก๊าซ สถานการณ์นี้อาจเห็นได้ในการประชุมเชิงปฏิบัติการการเคลือบขนาดใหญ่ ข้อได้เปรียบของมันคือมันช่วยลดการเข้าพักของถังก๊าซการวางแผนแบบครบวงจรและการจัดวางแบบครบวงจร ข้อเสียคือเนื่องจากการเพิ่มขึ้นของจำนวนข้อต่อโอกาสของการรั่วไหลของอากาศจะเพิ่มขึ้น ยิ่งไปกว่านั้นเครื่องเคลือบจะรบกวนกันและกันและไปป์ไลน์ของเครื่องเคลือบหนึ่งเครื่องอาจรั่วไหลซึ่งอาจส่งผลกระทบต่อคุณภาพผลิตภัณฑ์ของเครื่องเคลือบอื่น ๆ นอกจากนี้เมื่อเปลี่ยนถังก๊าซมีความจำเป็นเพื่อให้แน่ใจว่าเครื่องทั้งหมดอยู่ในสถานะที่ไม่ใช่ก๊าซ

6. ส่วนส่งสัญญาณเชิงกล

การเคลือบต้องใช้ความหนาของรอบนอกจะต้องมีความสม่ำเสมอ ดังนั้นจะต้องมีการหมุนสามครั้งในกระบวนการเคลือบเพื่อตอบสนองความต้องการ นั่นคือในขณะที่ตารางชิ้นงานขนาดใหญ่จำเป็นต้องหมุน (i) ผู้ให้บริการชิ้นงานขนาดเล็กก็หมุน (II) และชิ้นงานเองสามารถหมุนได้ในเวลาเดียวกัน (iii) ในการออกแบบเชิงกลโดยทั่วไปจะมีอุปกรณ์ขับเคลื่อนขนาดใหญ่อยู่ตรงกลางด้านล่างของแผ่นเสียงชิ้นใหญ่ชิ้นงานขนาดใหญ่และล้อดาวขนาดเล็กบางตัวตาข่าย หากผลิตภัณฑ์จะหมุนชิ้นงานจะหมุนโดยส้อมกะ

7 ส่วนการวัดความร้อนและอุณหภูมิ

อุปกรณ์เคลือบโดยทั่วไปมีเครื่องทำความร้อนในตำแหน่งที่แตกต่างกันและเทอร์โมคัปเปิลจะใช้ในการวัดและควบคุมอุณหภูมิ อย่างไรก็ตามเนื่องจากตำแหน่งการยึดเทอร์โมคัปเปิลนั้นแตกต่างจากตำแหน่งงานชิ้นงานการอ่านอุณหภูมิจึงไม่สามารถเป็นอุณหภูมิที่แท้จริงของชิ้นงานได้ ในการวัดอุณหภูมิที่แท้จริงของชิ้นงานมีหลายวิธีคุณสามารถติดตั้งกระดาษทดสอบอุณหภูมิสูงหรือเครื่องวัดเทอร์โมคัปเปิลบนชิ้นงาน

8. การระเหยของไอออนและแหล่งสปัตเตอร์

แหล่งที่มาการระเหยของการชุบแบบ multi-arc โดยทั่วไปอยู่ในรูปของเค้กกลมซึ่งเป็นที่รู้จักกันทั่วไปว่าเป็นเป้าหมายเค้กกลมและยังมีเป้าหมายหลายมัลติสี่เหลี่ยมสี่เหลี่ยม มีการติดตั้งแม่เหล็กในฐานเป้าหมาย โดยการเคลื่อนย้ายแม่เหล็กไปมาความเข้มของสนามแม่เหล็กจะเปลี่ยนไปและความเร็วในการเคลื่อนที่และวิถีของจุดโค้งสามารถปรับได้ เพื่อลดอุณหภูมิของเป้าหมายและฐานเป้าหมายฐานเป้าหมายจะต้องจัดหาน้ำเย็นอย่างต่อเนื่อง เพื่อให้แน่ใจว่าการนำไฟฟ้าและความร้อนสูงระหว่างเป้าหมายและฐานเป้าหมายสามารถเพิ่มปะเก็นดีบุกระหว่างเป้าหมายและฐานเป้าหมาย การเคลือบสปัตเตอร์ Magnetron โดยทั่วไปใช้ cathodes แบบสี่เหลี่ยมหรือทรงกระบอก

9 ระบบระบายความร้อนด้วยน้ำ

โดยทั่วไปประกอบด้วยอ่างเก็บน้ำเย็นเครื่องน้ำน้ำแข็งปั๊มน้ำ ฯลฯ

10, ระบบควบคุมอุตสาหกรรม

แบ่งปัน: