หลักการทำงานของเครื่องเคลือบสูญญากาศคืออะไร？

ในด้านการเคลือบ ความหนาของตัวอย่างฟิล์มหลังการเคลือบเป็นปัจจัยสำคัญที่ส่งผลต่อประสิทธิภาพของฟิล์ม ดังนั้นเมื่อประเมินประสิทธิภาพของตัวอย่างฟิล์ม จำเป็นต้องทดสอบประสิทธิภาพของตัวอย่างฟิล์มภายใต้ความหนาต่างกัน ในกรณีของการเคลือบแบบสุญญากาศ มักต้องมีการเตรียมตัวอย่างหลายครั้ง อย่างไรก็ตาม มีปัญหาสองประการในการเตรียมตัวอย่างหลายครั้ง: ประการแรก สถานะของเครื่องมือจะแตกต่างกันไปสำหรับตัวอย่างที่ปลูกในเวลาที่ต่างกัน ดังนั้นปัจจัยที่ส่งผลต่อประสิทธิภาพของตัวอย่างฟิล์มอาจไม่ใช่แค่ความหนาเท่านั้น ประการที่สอง ตัวอย่างจะต้องดูดฝุ่นอีกครั้งในการทดลองเคลือบสูญญากาศ การได้รับใช้เวลานานมาก เพิ่มต้นทุนการผลิตและการทดสอบ

ดังนั้นจึงจัดให้มีระบบเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอร์อเนกประสงค์ ระบบนี้ถูกรวมเข้าด้วยกันโดยระบบเคลือบสูญญากาศและระบบกล่องถุงมือ สามารถระเหยฟิล์มบางได้อย่างสมบูรณ์ในห้องระเหยสูญญากาศสูงและมีก๊าซเฉื่อยที่มีความบริสุทธิ์สูงในกล่องถุงมือ การจัดเก็บและการเตรียมตัวอย่างและการตรวจจับตัวอย่างหลังจากการระเหยกลายเป็นไอในบรรยากาศ การรวมกันของการเคลือบระเหยและกล่องถุงมือทำให้เกิดการผลิตการระเหย การห่อหุ้ม การทดสอบ และกระบวนการอื่นๆ ที่ปิดไว้อย่างสมบูรณ์ เพื่อให้การเจริญเติบโตของฟิล์มทั้งหมดและกระบวนการเตรียมอุปกรณ์ถูกรวมเข้าด้วยกันอย่างสูงในระบบบรรยากาศของสภาพแวดล้อมที่ควบคุมได้อย่างสมบูรณ์ ขจัดพื้นที่อินทรีย์ขนาดใหญ่ กระบวนการเตรียมวงจร อิทธิพลของปัจจัยที่ไม่เสถียรในสภาพแวดล้อมบรรยากาศรับประกันการจัดเตรียมอุปกรณ์และวงจรออปโตอิเล็กทรอนิกส์แบบออร์แกนิกที่มีประสิทธิภาพสูงในพื้นที่ขนาดใหญ่

วัตถุประสงค์หลักของระบบเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอริงแบบมัลติฟังก์ชั่น: ใช้เพื่อเตรียมฟิล์มโลหะต่างๆ ฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์ ฟิล์มอิเล็กทริก ฟิล์มแมกนีตรอน ฟิล์มแสง ฟิล์มตัวนำยิ่งยวด ฟิล์มตรวจจับ และฟิล์มพิเศษต่างๆ