สปัตเตอร์สูญญากาศ

1. บทนำ

มักหมายถึงแมกนีตรอนสปัตเตอร์ซึ่งเป็นวิธีการสปัตเตอร์ที่อุณหภูมิต่ำความเร็วสูง ก๊าซเฉื่อย (AR) จะถูกเติมในสุญญากาศ และกระแสตรงแรงดันสูงจะถูกเพิ่มระหว่างโพรงและเป้าหมายที่เป็นโลหะ (แคโทด) เนื่องจากอิเล็กตรอนที่เกิดจากการปล่อยแสงกระตุ้นก๊าซเฉื่อยเพื่อสร้างไอออนบวกของอาร์กอน ไอออนบวกจะเคลื่อนเข้าหาเป้าหมายแคโทดด้วยความเร็วสูง และอะตอมเป้าหมายจะถูกระเบิด และสะสมบนพื้นผิวพลาสติกเพื่อสร้างฟิล์ม ประเทศจีนผู้ผลิตเครื่องเคลือบสูญญากาศระเหย

2 หลักการ

เมื่อใช้อนุภาคพลังงานสูง (โดยปกติไอออนบวกที่เร่งด้วยสนามไฟฟ้า) พุ่งชนพื้นผิวแข็ง ปรากฏการณ์ที่อะตอมและโมเลกุลบนผิวของแข็งแลกเปลี่ยนพลังงานจลน์กับอนุภาคพลังงานสูงตกกระทบที่เรียกว่าสปัตเตอร์ อะตอมที่กระเด็น (หรือกระจุก) มีพลังงานจำนวนหนึ่ง พวกมันสามารถสะสมใหม่และควบแน่นบนพื้นผิวของสารตั้งต้นที่เป็นของแข็งเพื่อสร้างฟิล์มบาง

3. ข้อกำหนดความดันอากาศสำหรับการสปัตเตอร์สุญญากาศ

การสปัตเตอร์สูญญากาศต้องการให้ก๊าซเฉื่อยถูกเติมในสถานะสุญญากาศเพื่อให้เกิดการปล่อยเรืองแสง และระดับสุญญากาศของกระบวนการนี้อยู่ในสถานะปัจจุบันของโมเลกุล

4. การไหลของกระบวนการ

ตามลักษณะของพื้นผิวและเป้าหมาย การเคลือบสปัตเตอร์สุญญากาศยังสามารถพ่นโดยตรงโดยไม่ต้องใช้ไพรเมอร์ สามารถเพิ่มการเคลือบสปัตเตอร์สูญญากาศโดยการปรับกระแสและเวลา แต่ไม่หนาเกินไป และความหนาทั่วไปคือ 0.2 ~ 2um.