วิธีแก้ปัญหาความไม่เท่ากันของฟิล์มแมกนีตรอนสปัตเตอร์?

ประการแรก ควรตรวจสอบให้แน่ใจว่ามีความสม่ำเสมอและทิศทางของสนามแม่เหล็กเพื่อสร้างสนามแม่เหล็กอวกาศที่ค่อนข้างสม่ำเสมอ

ประการที่สอง ควรตรวจสอบความสม่ำเสมอของแรงดันอากาศให้มากที่สุด เมื่อออกแบบห้องสุญญากาศ ตำแหน่งการติดตั้งของปั๊มสุญญากาศ วิธี โรงงานเครื่องเคลือบสูญญากาศระเหย ของปริมาณก๊าซในกระบวนการและรูปแบบของท่อในกระบวนการในห้องเพาะเลี้ยงควรพิจารณา

ประการที่สาม เนื่องจากสนามแม่เหล็กและความกดอากาศไม่สามารถเป็นอุดมคติได้อย่างสมบูรณ์ สนามแม่เหล็กสามารถชดเชยได้ด้วยความไม่สม่ำเสมอของแรงดันอากาศเพื่อทำให้ฟิล์มสุดท้ายมีความสม่ำเสมอ

ประการที่สี่ ระยะฐานเป้าหมายก็เป็นปัจจัยสำคัญที่ส่งผลต่อความสม่ำเสมอเช่นกัน