วิธีการรักษาและติดตั้งปืนอิเล็กตรอนของเครื่องเคลือบแสง？

ดิ เครื่องเคลือบแสง ส่วนใหญ่ประกอบด้วยห้องเครื่องเคลือบสูญญากาศ, เครื่องดูดสูญญากาศและตู้ไฟฟ้า (ตู้ควบคุมไฟฟ้า, ตู้ไฟฟ้าปืนอิเล็กตรอน) และใช้ในไมโครอิเล็กทรอนิกส์, การขึ้นรูปฟิล์มด้วยแสง, การตกแต่งทางแพ่ง, วิศวกรรมพื้นผิวและสาขาอื่น ๆ หลักการทำงานของอุปกรณ์เคลือบด้วยแสงคือการใช้คานอิเล็กตรอนเพื่อให้ความร้อนกับวัสดุที่เป็นโลหะหรืออโลหะจนถึงอุณหภูมิที่เหมาะสมภายใต้สุญญากาศระดับสูง แล้วระเหยเป็นโมเลกุลไอ เส้นทางอิสระเฉลี่ยมากกว่าระยะทางจากแหล่งระเหยไปยังสารตั้งต้นที่จะระเหย โมเลกุลของไอระเหยถูกนำทางไปในทุกทิศทางและฝากไว้บนพื้นผิวของสารตั้งต้นเพื่อสร้างฟิล์มบาง ให้ฉันพูดถึงวิธีการติดตั้งและบำรุงรักษาปืนอิเล็กตรอน:
ระบบควบคุมการจ่ายไฟของปืนอิเล็กตรอนประกอบด้วยแหล่งจ่ายไฟแบบเส้นใย แหล่งจ่ายไฟแรงสูง แหล่งจ่ายไฟแบบสแกน แหล่งจ่ายไฟสำหรับขับเบ้าหลอม แหล่งจ่ายไฟแบบระเหย และอื่นๆ
ปืนอิเล็กตรอนควบคุมไฟฟ้าแรงสูงในตู้ไฟฟ้า จำเป็นต้องมีการทำงานปกติของอุปกรณ์ที่เชื่อมต่อกันของประตูตู้แต่ละตัวก่อนทำงาน ไม่อนุญาตให้ผู้ที่ไม่ใช่มืออาชีพเปิดประตูตู้ไฟฟ้า เมื่อทำงานปืนอิเล็กตรอนจะต้องไม่เปิดประตูตู้ไฟฟ้า ตู้ไฟฟ้าของเครื่องเคลือบด้วยแสงทั้งหมดต้องต่อสายดินอย่างดีและเชื่อมต่อกับสายดินของเครื่อง
แหล่งกำเนิดไอน้ำของปืนอิเล็กตรอนถูกติดตั้งไว้ที่แผ่นด้านล่างของห้องสุญญากาศ และต้องมีเอฟเฟกต์การต่อสายดินที่ดีกับเพลตด้านล่าง การติดตั้งแหล่งไอน้ำจำเป็นต้องยึดด้วยสกรูสแตนเลส และต้องไม่มีวัสดุที่เป็นแม่เหล็กภายในระยะ 200 มม. มิฉะนั้น จะส่งผลต่อจุดไฟของปืนอิเล็กตรอนและทำให้ประสิทธิภาพทางอิเล็กทรอนิกส์แย่ลง ควรติดตั้งแผ่นกั้นของปืนอิเล็กตรอนให้สูงที่สุด 30 มม. เหนือกึ่งกลางของเบ้าหลอมแหล่งกำเนิดการระเหย เพื่อไม่ให้ส่งผลกระทบต่อการปล่อยลำแสงอิเล็กตรอน
แหล่งไอน้ำของปืนอิเล็กตรอนเป็นตัวเครื่องที่มีความแม่นยำสูง และต้องใช้น้ำหล่อเย็นที่ดีเมื่อทำงาน อุณหภูมิที่มากเกินไปจะส่งผลต่อการก่อตัวของลำอิเล็กตรอนและประสิทธิภาพของวงแหวนปิดผนึกแต่ละอัน
(1) หัวปืนไฟฟ้า
การติดตั้งหัวปืนส่งผลโดยตรงต่อการทำงานปกติของปืน 90% ของความล้มเหลวเกี่ยวข้องกับปลายปืน
หลังจากใช้ทิปไประยะหนึ่ง เนื่องจากการปนเปื้อนของส่วนประกอบ จะส่งผลต่อการก่อตัวและพลังของลำอิเล็กตรอน จึงต้องถอดประกอบและทำความสะอาด
(2) การบำรุงรักษาเบ้าหลอม
ก่อนแยกชิ้นส่วนเบ้าหลอม โปรดปิดวงจรน้ำและใช้ลมอัดเพื่อเป่าทำความสะอาดน้ำในท่อระบายความร้อนของปืนอิเล็กตรอน
(3) การบำรุงรักษาแผ่นแม่เหล็กนำไฟฟ้าและวงแหวนสแกน
แผ่นนำทางและแม่เหล็กถาวรของเครื่องเคลือบด้วยแสงไม่จำเป็นต้องถอดประกอบและบำรุงรักษาบ่อยๆ หากคุณต้องการถอดแยกชิ้นส่วน โปรดใส่ใจกับทิศทางขั้วของแม่เหล็กถาวรและทิศทางของแผ่นนำทาง เนื่องจากพื้นที่ติดตั้งขดลวดมีความหนาแน่นสูง โปรดอย่างัดด้วยของมีคม มิฉะนั้นจะทำให้เกิดความเสียหายได้

ก่อตั้งขึ้นในปี 2550 ในชื่อเดิม Huahong Vacuum Technology เป็นมืออาชีพ ประเทศจีน เครื่องเคลือบฟิล์มแสง ซัพพลายเออร์ และ ผู้จำหน่ายเครื่องเคลือบฟิล์มออปติก ซึ่งรวมถึงแต่ไม่จำกัดเฉพาะระบบสปัตเตอร์, หน่วยเคลือบด้วยแสง, แบทช์เมทัลไลเซอร์, ระบบการสะสมไอทางกายภาพ (PVD), อุปกรณ์เคลือบสูญญากาศที่ทนต่อความแข็งและการสึกหรอ, แก้ว, PE, เครื่องเคลือบพื้นผิว PC, เครื่องม้วนต่อม้วนสำหรับการเคลือบแบบยืดหยุ่น พื้นผิว เครื่องจักรนี้ใช้สำหรับการใช้งานที่หลากหลายตามที่อธิบายไว้ด้านล่าง (แต่ไม่จำกัดเพียง) ยานยนต์ การตกแต่ง การเคลือบแข็ง การเคลือบเครื่องมือและการตัดโลหะ และการเคลือบฟิล์มบางสำหรับอุตสาหกรรมและห้องปฏิบัติการรวมถึงมหาวิทยาลัย Danko Vacuum Technology Company Ltd มีความมุ่งมั่น เพื่อขยายขอบเขตการตลาดของเราด้วยการจัดหาเครื่องเคลือบฟิล์มแสงคุณภาพสูง ประสิทธิภาพสูง และราคาขายส่ง บริษัทของเราให้ความสำคัญกับบริการหลังการขายในตลาดภายในประเทศและต่างประเทศ โดยนำเสนอแผนการประมวลผลชิ้นส่วนที่ถูกต้องและโซลูชั่นระดับมืออาชีพเพื่อตอบสนองความต้องการของลูกค้า3