เคลือบ PVD เหมือนเพชร (DLC)

การเคลือบผิวแบบ Diamond-like-carbon (DLC) เป็นความเชี่ยวชาญเฉพาะด้านของ Richter Precision Inc. ในบรรดาองค์ประกอบและเทคโนโลยีการเคลือบผิว PVD & PaCVD การเคลือบ DLC โดดเด่นเป็นหมวดหมู่ที่โดดเด่น สารเคลือบเหล่านี้แสดงให้เห็นถึงการผสมผสานที่น่าพอใจของค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำและความแข็งระดับไมโครสูง ทำให้มีประสิทธิภาพอย่างมากในการใช้งานแบบไตรโบโลยีและการสึกหรอ

การเคลือบ DLC เกิดขึ้นเมื่อสปีชีส์คาร์บอนหรือไฮโดรคาร์บอนแตกตัวเป็นไอออนและสลายตัวบนพื้นผิวของซับสเตรตที่มีพลังงานโดยทั่วไป 10-300eV ฟิล์ม DLC อาจมีคุณสมบัติทางกล (ความแข็งสูง) ออปติก (ช่องว่างแถบแสงสูง) ไฟฟ้า (ความต้านทานไฟฟ้าสูง) เคมี (เฉื่อย) และคุณสมบัติทางไตรโบโลยี (แรงเสียดทานต่ำและค่าสัมประสิทธิ์การสึกหรอ) และสามารถสะสมที่อุณหภูมิพื้นผิวต่ำ (~ 200 องศาเซลเซียส)

โดยทั่วไปแล้ว ฟิล์ม DLC จะเป็นแบบอสัณฐาน (กล่าวคือไม่มีโครงสร้างผลึกขัดแตะที่โดดเด่น) และประกอบด้วยส่วนผสมของเฟส sp2 (กราไฟต์) และ sp3 (เพชร) การควบคุมฟิล์ม เครื่องเคลือบ DLC คุณสมบัติจะขึ้นอยู่กับลักษณะการไหลอย่างมากของเทคนิคการตกสะสมที่เลือก (PVD สปัตเตอร์หรือการระเหยและ Pa-CVD) ปริมาณโลหะและไฮโดรเจนภายในฟิล์ม อัตราส่วน sp2:sp3 แรงดันไบแอสของซับสเตรต พลังงานไอออน และความหนาแน่นของไอออน ตลอดจนสารตั้งต้น อุณหภูมิ. ค่าสัมประสิทธิ์การเสียดสีของฟิล์ม DLC เทียบกับเหล็กกล้าโดยทั่วไปอยู่ในช่วง 0.05-0.20 ในขณะที่ความแข็งของฟิล์มและเนื้อหา sp3 สามารถปรับให้เหมาะกับการใช้งานเฉพาะได้ โลหะและไฮโดรเจนที่มี DLC (Me-DLC หรือ a-C:H:Me) มีความแข็งอยู่ในช่วง 500-2000HV โดยมี 35% sp3, DLC ที่ปราศจากโลหะ (C-DLC หรือ a-C:H) โดยทั่วไปคือ 1500-4000HV และสูงถึง 75% sp3 ในขณะที่คาร์บอนอสัณฐานเตตระฮีดรัล (ta-C) สามารถอยู่ที่ 4000-9000HV โดยมี sp3 80-85%

Richter Precision Inc. นำเสนอองค์ประกอบเฟส DLC ที่ครบถ้วน และด้วยเหตุนี้จึงเลือกคุณสมบัติทางกลและทางกายภาพที่หลากหลายที่สุด ลักษณะของเครื่องมือและ/หรือการใช้งานจะเป็นตัวกำหนดโครงสร้างการเคลือบ DLC ที่เหมาะสมที่สุด โปรดดูตารางด้านล่างสำหรับรายการที่สมบูรณ์ขององค์ประกอบการเคลือบ DLC ที่เรามี