คำศัพท์ทั่วไปเกี่ยวกับสุญญากาศ6

1.การดูดซับ：การดูดซับก๊าซหรือไอระเหย (ตัวดูดซับ) บนพื้นผิวที่เป็นของแข็งหรือของเหลว (ตัวดูดซับ)
2. การดูดซับทางกายภาพ： การดูดซับเนื่องจากการกระทำทางกายภาพ โรงงานเครื่องเคลือบสูญญากาศระเหย
3.chemisorption： การดูดซับเนื่องจากการกระทำทางเคมี
4.การดูดซึม：การแพร่กระจายของก๊าซหรือไอระเหย (ตัวดูดซับ) ให้เป็นของแข็งหรือของเหลว (ตัวดูดซับ)
ปัจจัยที่พัก 5.α：อัตราส่วนของพลังงานเฉลี่ยที่แลกเปลี่ยนระหว่างการตกกระทบของอนุภาคบนพื้นผิวกับพลังงานจริงที่แลกเปลี่ยนบนพื้นผิวกับพลังงานเฉลี่ยที่แลกเปลี่ยนเมื่ออนุภาคถึงสภาวะสมดุลทางความร้อนที่สมบูรณ์บนพื้นผิว
6. อัตราการปะทะ：ในช่วงเวลาที่กำหนด จำนวนโมเลกุลที่ตกกระทบบนพื้นผิวจะถูกหารด้วยเวลาและพื้นที่ผิว
7.migration：การเคลื่อนที่ของโมเลกุลบนพื้นผิว
8.desorption：การปล่อยก๊าซหรือไอระเหยที่ดูดซับโดยวัสดุ การปลดปล่อยสามารถเกิดขึ้นได้ตามธรรมชาติหรือเร่งด้วยวิธีการทางกายภาพ