คำศัพท์ทั่วไปเกี่ยวกับสุญญากาศ5

1.การแพร่กระจายของแก๊ส：แก๊สเคลื่อนที่ในตัวกลางอื่นเนื่องจากการไล่ระดับความเข้มข้น สื่อสามารถเป็นก๊าซอื่นได้ (ในกรณีนี้เรียกว่าการแพร่แบบกระจาย) หรือสารควบแน่น
2.D ค่าสัมประสิทธิ์การแพร่; การแพร่กระจาย：หาอัตราส่วนของอัตราการไหลของมวลสัมบูรณ์ต่อหน่วยพื้นที่ต่อการไล่ระดับความเข้มข้นปกติต่อหน่วยพื้นที่ ประเทศจีน เครื่องชุบ PVD ซัพพลายเออร์
3.การไหลหนืด：เส้นทางอิสระเฉลี่ยของโมเลกุลก๊าซมีขนาดเล็กกว่าขนาดหน้าตัดต่ำสุดของท่อมาก ดังนั้นการไหลจึงขึ้นอยู่กับความหนืดของก๊าซซึ่งอาจเป็นแบบราบหรือนิ่ง
4.ηปัจจัยหนืด：อัตราส่วนของแรงสัมผัสต่อการไล่ระดับความเร็วต่อหน่วยพื้นที่ในทิศทางของการไล่ระดับความเร็วของกระแสลม
5. การดูดซับ： การดักจับก๊าซหรือไอระเหย (ดูดซับ) โดยของแข็งหรือของเหลว (ตัวดูดซับ)