คำศัพท์เกี่ยวกับเครื่องดูดฝุ่นทั่วไป7

1.degassing： การคายก๊าซจากวัสดุเทียม
2.outgassing： ก๊าซถูกดูดซับโดยธรรมชาติจากวัสดุ
3.qGU desorption หรือ outgassing หรือ degassing rate：ภายในช่วงเวลาที่กำหนด อัตราการไหลของก๊าซ (หรืออัตราการไหลของโมเลกุล) ของการคายน้ำ (หรือภาวะเงินฝืดหรือการลดก๊าซ) จากวัสดุจะถูกหารด้วยเวลาและพื้นที่ผิว ประเทศจีน เครื่องเคลือบพลาสม่า ซัพพลายเออร์
4.อัตราการระเหย：จำนวนโมเลกุล (หรือมวลหรือมวล) ที่ระเหยออกจากพื้นผิวภายในช่วงเวลาที่กำหนดหารด้วยเวลาและพื้นที่ผิว
5. เวลาหยาบ：เวลาที่ต้องใช้สำหรับปั๊มสุญญากาศระยะหน้าหรืออุปกรณ์ปั๊มสุญญากาศระยะหน้าเพื่อปั๊มจากแรงดันบรรยากาศไปยังแรงดันฐาน หรือเพื่อเริ่มแรงดันของปั๊มสุญญากาศที่ทำงานที่แรงดันค่อนข้างต่ำ
6.pump-down time：ลดความดันของระบบสุญญากาศจากความดันบรรยากาศเป็นความดันบางอย่าง เช่น เวลาที่ต้องใช้ในการไปถึงความดันฐาน。