คำศัพท์ทั่วไปเกี่ยวกับสุญญากาศ 3

1. ช่วงของสุญญากาศ：พื้นที่สุญญากาศแบ่งคร่าวๆ ได้ดังนี้

ปะ        ตอร์

สูญญากาศต่ำ:            10 ⁵ ～10 ² 760～1
สูญญากาศปานกลาง:          10 ² ～10 ^-1 1～10 ^-3

สูญญากาศสูง:            10 ^-1 ～10 ^-5 10 ^-3 ～10 ^-7

สูญญากาศสูงพิเศษ:       <10 ^-5 <10 ^-7

2. แก๊ส：สารที่มีอิสระในการครอบครองพื้นที่ใดๆ และไม่อยู่ภายใต้ปฏิสัมพันธ์ระหว่างโมเลกุล หมายเหตุ: ในเทคโนโลยีสูญญากาศ คำว่า "แก๊ส" ไม่ได้ใช้กับก๊าซและไอน้ำที่ไม่ควบแน่นอย่างเคร่งครัด
3. n，m-3 จำนวนความหนาแน่นของโมเลกุล：ในช่วงเวลาที่กำหนด ประเทศจีน เครื่องชุบ PVD ซัพพลายเออร์ จำนวนโมเลกุลในปริมาตรรอบจุดในแก๊สหารด้วยปริมาตรนั้น
4. ι、λ，m หมายถึง เส้นทางอิสระ：ระยะทางที่โมเลกุลเดินทางร่วมกับโมเลกุลก๊าซอื่นๆ ทุกๆ 2 การชนติดต่อกันเรียกว่า เส้นทางอิสระ ค่าเฉลี่ยของเส้นทางอิสระที่แตกต่างกันจำนวนมากเรียกว่าเส้นทางอิสระเฉลี่ย