คำศัพท์ทั่วไปเกี่ยวกับสุญญากาศ 10

1. ปั๊มบำรุงรักษา: ในระบบสูญญากาศ ปริมาณอากาศมีขนาดเล็กมาก และปั๊มด้านหน้าไม่สามารถใช้งานได้อย่างมีประสิทธิภาพ เพื่อจุดประสงค์นี้ ปั๊มเสริมขนาดเล็กได้รับการติดตั้งเพื่อบำรุงรักษาปั๊มหลัก ซึ่งเรียกว่าปั๊มบำรุงรักษา หากมีการติดตั้งปั๊มใบพัดหมุนขนาดเล็กที่ทางออกของปั๊มกระจาย แสดงว่าเป็นปั๊มบำรุงรักษา ประเทศจีน เครื่องเคลือบ PVD ซัพพลายเออร์
2.การเคลือบสูญญากาศ: วิธีการเตรียมฟิล์มบนพื้นผิวในสุญญากาศ
3. วัสดุพิมพ์： ตัวรับเมมเบรน
4.สารตั้งต้นการทดสอบ：พื้นผิวที่ใช้สำหรับการวัดและ/หรือทดสอบที่จุดเริ่มต้น ระหว่างหรือหลังการเคลือบ
5.วัสดุเคลือบ：วัตถุดิบที่ใช้ทำฟิล์ม
6.วัสดุสปัตเตอร์：วัสดุเคลือบที่ใช้สำหรับการสปัตเตอร์ในการสปัตเตอร์แบบสุญญากาศ
7.วัสดุฟิล์ม：วัสดุที่ใช้ทำฟิล์ม
8.อัตราการสปัตเตอร์：ในช่วงเวลาที่กำหนด ปริมาณของวัสดุที่สปัตเตอร์จะถูกหารด้วยช่วงเวลา
9.อัตราการสะสม：ในช่วงเวลาที่กำหนด ปริมาณของวัสดุที่สะสมบนพื้นผิวจะถูกหารด้วยช่วงเวลาและพื้นที่ผิวของพื้นผิว