พื้นผิวที่เป็นของแข็งถูกทิ้งระเบิดด้วยอนุภาคที่มีพลัง

การสะสมสปัตเตอร์

หลักการพื้นฐาน

พื้นผิวที่เป็นของแข็งถูกทิ้งระเบิดด้วยอนุภาคที่มีพลัง (โดยปกติไอออนบวกจะถูกเร่งด้วยสนามไฟฟ้า) การสปัตเตอร์ของอะตอมและโมเลกุลบนพื้นผิวที่เป็นของแข็งหลังจากแลกเปลี่ยนพลังงานจลน์กับอนุภาคพลังงานตกกระทบที่เรียกว่าการสปัตเตอร์ อะตอม (หรือกระจุก) ที่สปัตเตอร์มีพลังงานจำนวนหนึ่ง พวกเขาสามารถฝากซ้ำและควบแน่นบนพื้นผิวของพื้นผิวที่เป็นของแข็งเพื่อสร้างฟิล์มบาง ๆ ที่เรียกว่าเคลือบสปัตเตอร์ ประเทศจีน เครื่องเคลือบพลาสม่า ซัพพลายเออร์

การเคลือบสปัตเตอร์มีข้อดีหลายประการเมื่อเทียบกับการระเหยด้วยสุญญากาศแบบดั้งเดิม เช่น:

การยึดเกาะระหว่างฟิล์มกับเมทริกซ์มีความแข็งแรง

สะดวกในการเตรียมฟิล์มบางของวัสดุที่มีจุดหลอมเหลวสูง

สามารถเตรียมฟิล์มที่เป็นเนื้อเดียวกันได้บนพื้นที่หน้าสัมผัสขนาดใหญ่

สามารถควบคุมองค์ประกอบของฟิล์มได้ง่าย และสามารถเตรียมฟิล์มโลหะผสมที่มีองค์ประกอบและสัดส่วนต่างกันได้

สามารถใช้รีแอกทีฟสปัตเตอร์เพื่อเตรียมฟิล์มผสมต่างๆ และสามารถชุบฟิล์มหลายชั้นได้อย่างง่ายดาย

ง่ายสำหรับการผลิตเชิงอุตสาหกรรม การทำงานแบบต่อเนื่องและอัตโนมัติ ฯลฯ