วิธีรักษาและติดตั้งปืนอิเล็กตรอนของเครื่องเคลือบออปติคัล？

ที่ เครื่องเคลือบแสง ส่วนใหญ่ประกอบด้วยห้องเคลือบเครื่องดูดฝุ่น, สูญญากาศ exhauster และตู้ไฟฟ้า (ควบคุมตู้ไฟฟ้า, ตู้ไฟฟ้าปืนอิเล็กตรอน) และใช้ในไมโครอิเล็กทรอนิกส์การขึ้นรูปฟิล์มออปติคัลการตกแต่งพลเรือนวิศวกรรมพื้นผิวและสาขาอื่น ๆ หลักการทำงานของอุปกรณ์เคลือบด้วยแสงคือการใช้คานอิเล็กตรอนเพื่อให้ความร้อนโลหะหรือวัสดุที่ไม่ใช่โลหะกับอุณหภูมิที่เหมาะสมภายใต้สุญญากาศสูงแล้วระเหยเป็นโมเลกุลไอ ค่าเฉลี่ยของเส้นทางอิสระนั้นสูงกว่าระยะทางจากแหล่งที่มาของการระเหยไปยังสารตั้งต้นที่จะระเหย โมเลกุลไอระเหยได้รับการชี้นำในทุกทิศทางและวางอยู่บนพื้นผิวของพื้นผิวเพื่อสร้างฟิล์มบาง ๆ ให้ฉันพูดคุยเกี่ยวกับวิธีการติดตั้งและการบำรุงรักษาของปืนอิเล็กตรอน:
ระบบควบคุมแหล่งจ่ายไฟของปืนอิเล็กตรอนประกอบด้วยแหล่งจ่ายไฟของเส้นใยแหล่งจ่ายไฟแรงดันสูงแหล่งจ่ายไฟสแกนแหล่งจ่ายไฟขับเคลื่อนเบ้าหลอมแหล่งจ่ายไฟการระเหยและอื่น ๆ
ปืนอิเล็กตรอนควบคุมแรงดันสูงในตู้ไฟฟ้า การทำงานปกติของอุปกรณ์เชื่อมต่อแต่ละอันของประตูตู้เป็นสิ่งจำเป็นก่อนทำงาน ไม่ได้รับอนุญาตให้เปิดประตูตู้ไฟฟ้า เมื่อทำงานปืนอิเล็กตรอนจะต้องไม่เปิดประตูตู้ไฟฟ้า ตู้ไฟฟ้าของเครื่องเคลือบออพติคอลทั้งหมดจะต้องมีการต่อสายดินอย่างดีและเชื่อมต่อกับสายดินของเครื่อง
แหล่งกำเนิดไอน้ำของปืนอิเล็กตรอนถูกติดตั้งบนแผ่นด้านล่างของห้องสูญญากาศและจำเป็นต้องมีเอฟเฟกต์การต่อสายดินที่ดีด้วยแผ่นด้านล่าง การติดตั้งแหล่งไอน้ำจำเป็นต้องได้รับการแก้ไขด้วยสกรูสแตนเลสและจะต้องไม่มีวัสดุแม่เหล็กภายใน 200 มม. รอบ ๆ มิฉะนั้นจะส่งผลกระทบต่อจุดแสงของปืนอิเล็กตรอนและทำให้ประสิทธิภาพทางอิเล็กทรอนิกส์ไม่ดี ควรติดตั้งแผ่นโลหะอิเล็กตรอนให้ไกลที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้ 30 มม. เหนือกลางแหล่งกำเนิดระเหยเบ้าหลอมเพื่อไม่ให้ส่งผลกระทบต่อการปล่อยลำแสงอิเล็กตรอน
แหล่งกำเนิดไอน้ำของปืนอิเล็กตรอนเป็นตัวกลึงที่แม่นยำและจำเป็นต้องใช้น้ำเย็นที่ดีเมื่อทำงาน อุณหภูมิที่มากเกินไปจะส่งผลต่อการก่อตัวของลำแสงอิเล็กตรอนและประสิทธิภาพของวงแหวนปิดผนึกแต่ละวง
(1) หัวปืนอิเล็กทรอนิกส์
การติดตั้งหัวปืนส่งผลโดยตรงต่อการทำงานปกติของปืน 90% ของความล้มเหลวเกี่ยวข้องกับปลายปืน
หลังจากใช้ทิปเป็นระยะเวลาหนึ่งเนื่องจากการปนเปื้อนของส่วนประกอบมันจะส่งผลกระทบต่อการก่อตัวและพลังของลำแสงอิเล็กตรอนดังนั้นจึงจำเป็นต้องถอดประกอบและทำความสะอาด
(2) การบำรุงรักษาเบ้าหลอม
ก่อนที่จะถอดชิ้นส่วนเบ้าหลอมโปรดปิดวงจรน้ำและใช้อากาศอัดเพื่อเป่าทำความสะอาดน้ำในท่อระบายความร้อนด้วยปืนอิเล็กตรอน
(3) การบำรุงรักษาแผ่นไฟฟ้าแม่เหล็กและแหวนสแกน
แผ่นคู่มือและแม่เหล็กถาวรของเครื่องเคลือบออพติคอลไม่จำเป็นต้องถอดประกอบและดูแลรักษาบ่อยครั้ง หากคุณต้องการถอดแยกชิ้นส่วนโปรดให้ความสนใจกับทิศทางขั้วของแม่เหล็กถาวรและทิศทางของแผ่นไกด์ เนื่องจากพื้นที่ติดตั้งคอยล์มีความหนาแน่นโปรดอย่าแงะกับวัตถุมีคมมิฉะนั้นจะทำให้เกิดความเสียหาย

ก่อตั้งขึ้นในปี 2550 เป็นชื่อก่อนหน้านี้เทคโนโลยี Huahong Vacuum เป็นมืออาชีพ ซัพพลายเออร์เครื่องเคลือบฟิล์มออปติคัลจีน และ ซัพพลายเออร์เครื่องเคลือบฟิล์มออปติคอล รวมถึง แต่ไม่ จำกัด เฉพาะระบบสปัตเตอร์, หน่วยเคลือบแสง, ระบบ metallizers แบทช์, ระบบการสะสมไอทางกายภาพ (PVD), อุปกรณ์สะสมการเคลือบสูญญากาศที่ทนต่อการเคลือบแข็งและสึกหรอ, แก้ว, PE, สารตั้งต้นของพีซี, เครื่องม้วนต่อม้วนสำหรับการเคลือบพื้นผิวที่ยืดหยุ่น เครื่องจักรใช้สำหรับแอพพลิเคชั่นที่หลากหลายที่อธิบายไว้ด้านล่าง (แต่ไม่ จำกัด เพียง) ยานยนต์ตกแต่งการเคลือบอย่างหนักเครื่องมือและการตัดโลหะและการเคลือบฟิล์มบาง ๆ สำหรับอุตสาหกรรมและห้องปฏิบัติการรวมถึงมหาวิทยาลัย Danko Vacuum Technology Company Ltd บริษัท ของเราให้ความสำคัญกับบริการหลังการขายในตลาดทั้งในและต่างประเทศจัดทำแผนการประมวลผลชิ้นส่วนที่ถูกต้องและโซลูชั่นระดับมืออาชีพเพื่อตอบสนองความต้องการของลูกค้า