กระบวนการเคลือบเครื่องดูดฝุ่นระเหย- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

เครื่องเคลือบสูญญากาศระเหย เป็นเครื่องเคลือบสูญญากาศทั่วไปสำหรับแอปพลิเคชันรายวัน วัสดุจำนวนมากที่มีจุดหลอมเหลวต่ำเช่นอลูมิเนียม, แมกนีเซียมฟลูออไรด์และสังกะสีซัลไฟด์ใช้เครื่องเคลือบระเหย เนื่องจากมีต้นทุนต่ำและมีประสิทธิภาพสูงจึงเป็นที่ต้องการโดยผู้ผลิตสารเคลือบผิว เลือก. เครื่องเคลือบสูญญากาศระเหยซึ่งแบ่งออกเป็นเครื่องเคลือบความต้านทานการระเหยเครื่องเคลือบระเหยเครื่องปั่นป่วนเครื่องเคลือบความต้านทานการระเหยเครื่องเคลือบโดยทั่วไปจะเคลือบชิ้นงานฮาร์ดแวร์ทุกวันและวัสดุที่ยืดหยุ่น

1. การเตรียมก่อนชุบ

กระบวนการนี้รวมถึงการทำความสะอาดชิ้นส่วนการชุบการผลิตและการทำความสะอาดแหล่งกำเนิดการระเหยการทำความสะอาดการติดตั้งชุบในห้องสูญญากาศการติดตั้งแหล่งกำเนิดการระเหยการติดตั้งชิ้นส่วนชุบ ฯลฯ

(1) การทำความสะอาดและจัดการชิ้นส่วนที่ชุบ:

ขนาดของแรงพันธะระหว่างชั้นฟิล์มและพื้นผิวของชิ้นส่วนที่ชุบเป็นตัวบ่งชี้ที่สำคัญของคุณภาพของผลิตภัณฑ์ มันถูกกำหนดโดยปัจจัยหลายอย่างและการรักษาพื้นผิวก่อนการเคลือบเป็นหนึ่งในปัจจัยพื้นฐาน หากมีจาระบีน้ำที่ดูดซับฝุ่น ฯลฯ บนพื้นผิวของส่วนที่ชุบมันจะลดแรงพันธะของฟิล์มและส่งผลกระทบต่อความขรุขระของพื้นผิว

การเสื่อมสภาพทางเคมี ชิ้นส่วนโลหะและโลหะที่ไม่ใช่โลหะต่าง ๆ ควรใช้กระบวนการเสื่อมโทรมและการเสื่อมสภาพที่สอดคล้องกัน สำหรับวิธีการเฉพาะคุณสามารถค้นหาการเลิกคอลัมน์ทางเทคนิคของเว็บไซต์นี้เพื่อดูบทความที่เกี่ยวข้อง

precipitator ไฟฟ้าสถิต ชิ้นส่วนที่ชุบถูกชาร์จได้ง่ายด้วยไฟฟ้าคงที่ในระหว่างกระบวนการขึ้นรูปซึ่งอาจทำให้เกิดรูเข็มในชั้นฟิล์มหรือลดแรงยึดติดของฟิล์มดังนั้นกระแสไฟฟ้าคงที่จะต้องถูกกำจัดออกไปก่อนที่จะใช้ไพรเมอร์

ไพรเมอร์ โดยทั่วไปความหนาของชั้นฟิล์มที่ด้านล่างของการระเหยคือ 0.05 ~ 0.1UM ในขณะที่พื้นผิวไม่สม่ำเสมอของชิ้นส่วนการชุบธรรมดาคือ 0.5um และความหนาของชั้นฟิล์มนั้นยังห่างไกลพอที่จะเติมเต็มหลุม เพื่อลดความขรุขระของพื้นผิวไพรเมอร์พิเศษของ 7 ~ 10um จะถูกนำไปใช้กับพื้นผิวของชิ้นส่วนที่ชุบเพื่อกำจัดหลุมและบรรลุผลของการปรับระดับพื้นผิว

(2) การผลิตแหล่งกำเนิดการระเหย:

ตามข้อกำหนดการใช้งานของผลิตภัณฑ์และวัสดุของชิ้นส่วนที่ชุบการเลือกวัสดุระเหยที่เหมาะสมเป็นเงื่อนไขพื้นฐานสำหรับการได้รับฟิล์มคุณภาพสูง

หลักการพื้นฐานของการเลือกวัสดุฟิล์มโลหะคือ: ความเสถียรทางความร้อนที่ดีและความเสถียรทางเคมีความแข็งแรงเชิงกลสูงความเครียดภายในต่ำและความเหนียวบางอย่างการยึดติดที่ดีกับไพรเมอร์การสะท้อนแสงสูงและ outgassing ในสุญญากาศ เล็ก; แหล่งวัสดุที่กว้างราคาต่ำและแหล่งที่มาของการระเหยที่สอดคล้องกัน

วัสดุระเหยที่แตกต่างกันจำเป็นต้องเลือกแหล่งที่มาของการระเหยที่สอดคล้องกันและวิธีการชุบการระเหย

(3) การทำความสะอาดห้องสูญญากาศและการชุบ:

หากห้องสูญญากาศที่มีฝาครอบด้านในถูกปนเปื้อนฝาครอบสามารถถอดออกเพื่อทำความสะอาดหรือต่ออายุได้ หากไม่มีฝาครอบด้านในสามารถเช็ดด้วยแคลเซียมคาร์บอเนตแล้วเช็ดด้วยน้ำและในที่สุดก็เช็ดด้วยเอทานอลที่ปราศจากน้ำ

การติดตั้งอลูมิเนียมที่ใช้กันทั่วไปสามารถแช่ในสารละลาย NaOH 20% จนกระทั่งพื้นผิวเป็นสีน้ำตาลจากนั้นล้างด้วยน้ำไหลแช่ใน HNO3 จนกระทั่งสีน้ำตาลหายไปจากนั้นล้างและทำให้แห้ง

(4) ติดตั้งแหล่งที่มาของการระเหย:

ระวังการสวมใส่ถุงมือที่เสื่อมโทรมและเครื่องมือย่อยสลายล่วงหน้า ให้ความสนใจเป็นพิเศษกับการติดต่อที่ดีระหว่างแหล่งกำเนิดการระเหยและอิเล็กโทรด

(5) วางชิ้นส่วนที่ชุบ:

ควรวางไว้บนพื้นของชิ้นส่วนที่ชุบและชิ้นส่วนที่ชุบอย่างมั่นคงและมั่นคงเพื่อป้องกันไม่ให้ชิ้นส่วนชุบถูกโยนออกไปจากการติดตั้งเนื่องจากการหมุนของการติดตั้งในระหว่างการระเหย มีความจำเป็นที่จะต้องสวมถุงมือที่เสื่อมโทรมไม่พูดและรักษาจิ๊กชิ้นส่วนที่ชุบไว้ให้สะอาด

2. ขั้นตอนสูญญากาศ

เปิดวาล์วระบายความร้อนปรับให้เข้ากับแรงดันน้ำที่ต้องการเชื่อมต่อแหล่งจ่ายไฟหลักปิดวาล์วบรรยากาศไปที่ห้องสูญญากาศปิดวาล์วท่อเริ่มแหล่งจ่ายไฟปั๊มเครื่องจักรกลและเปิดวาล์วก่อนเกิด ในเวลานี้ปั๊มกลไกจะอพยพห้องสูญญากาศจากนั้นจะทำการทิ้งระเบิดไอออนเปิดพลังงานการทำความร้อนปั๊มแพร่กระจายและปิดวาล์วก่อนวาคัม เมื่อปั๊มกระจายไปถึงข้อกำหนดการทำงานให้ปิดวาล์วสูญญากาศเปิดวาล์วท่อและเปิดวาล์วสูญญากาศสูง , ปั๊มการแพร่, ปั๊มเครื่องจักรกลเพื่อปั๊มห้องสูญญากาศเมื่อสูญญากาศถึงค่าที่แน่นอนอบก่อนละลายและระเหย

3. การทิ้งระเบิดไอออน

ในระหว่างการปล่อยแสงไอออนระเบิดอิเล็กตรอนเพื่อให้ได้ความเร็วสูงและชิ้นส่วนที่ชุบจะถูกชาร์จอย่างรวดเร็วเนื่องจากการเคลื่อนที่ของอิเล็กตรอนขนาดใหญ่ มีการแลกเปลี่ยนพลังงานบนพื้นผิวและปฏิกิริยาทางเคมีเกิดขึ้นระหว่างชั้นการดูดซับของชิ้นส่วนชุบและก๊าซที่ใช้งานเพื่อให้ได้ผลของการทำความสะอาดพื้นผิว

เงื่อนไขของการทิ้งระเบิดไอออนคือความดันก๊าซที่เหลืออยู่ที่ 0.13 ~ 13pa แรงดันไฟฟ้าคือ 1.5 ~ 10kV และเวลาคือ 5 ~ 60 นาที

4. อบ

มันสามารถเร่งการหลบหนีอย่างรวดเร็วของก๊าซที่ดูดซับโดยส่วนที่ชุบหรือการติดตั้งซึ่งเป็นประโยชน์ในการปรับปรุงระดับสูญญากาศและแรงพันธะของชั้นฟิล์ม เมื่ออบควรสังเกตว่าอุณหภูมิการอบสำหรับชิ้นส่วนที่ไม่ใช่โลหะควรต่ำกว่าอุณหภูมิการเสียรูปความร้อนของชิ้นส่วนที่ชุบ โดยทั่วไปการอบโลหะไม่เกิน 200 ℃

5. premelting

มันสามารถกำจัดสิ่งเจือปนจุดหลอมต่ำในวัสดุระเหยและก๊าซที่ดูดซับในแหล่งกำเนิดการระเหยและวัสดุระเหยซึ่งเอื้อต่อความก้าวหน้าที่ราบรื่นของการระเหย สารควรถูกละลายล่วงหน้าซ้ำ ๆ และข้อกำหนดทั่วไปคือเมื่อวัสดุระเหยถูกทำให้ร้อนกับอุณหภูมิการระเหยระดับสูญญากาศจะไม่ลดลง

6. การระเหย

เทคโนโลยีการระเหยของเครื่องเคลือบสูญญากาศระเหยมีอิทธิพลอย่างมากต่อคุณภาพของการเคลือบและมีข้อกำหนดที่แตกต่างกันสำหรับโลหะทั่วไปโลหะพิเศษและสารประกอบ ตัวอย่างเช่นโลหะบางชนิดจำเป็นต้องระเหยอย่างรวดเร็วในขณะที่บางชนิดไม่เหมาะสม รูปร่างของแหล่งที่มานั้นขึ้นอยู่กับวัสดุระเหย