การวิเคราะห์เทคโนโลยีการเคลือบระเหยทั่วไป- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

การวิเคราะห์เทคโนโลยีการเคลือบระเหยทั่วไป

1. ความต้านทานการชุบการระเหย: แหล่งที่มาของการระเหยความต้านทานใช้ในการระเหยวัสดุจุดหลอมเหลวต่ำเช่นทองคำเงินสังกะสีซัลไฟด์, แมกนีเซียมฟลูออไรด์, โครเมียมไตรออกไซด์ ฯลฯ

2. ลำแสงอิเล็กตรอน การชุบระเหย : หลังจากวัสดุฟิล์มถูกระเหยและระเหยด้วยการให้ความร้อนด้วยลำแสงอิเล็กตรอนมันจะถูกควบแน่นบนพื้นผิวของพื้นผิวเพื่อสร้างภาพยนตร์ซึ่งเป็นวิธีการทำความร้อนที่สำคัญในเทคโนโลยีการระเหยสูญญากาศ

มีอุปกรณ์ดังกล่าวหลายประเภท ด้วยการประยุกต์ใช้เทคโนโลยีฟิล์มบาง ๆ ไม่เพียง แต่ข้อกำหนดสำหรับประเภทของเยื่อหุ้มเซลล์นั้นมีความหลากหลาย แต่ยังรวมถึงข้อกำหนดสำหรับคุณภาพของเยื่อหุ้มเซลล์ที่เข้มงวดกว่า

การระเหยความต้านทานไม่สามารถตอบสนองความต้องการของการระเหยของโลหะและโลหะที่ไม่ใช่โลหะได้อีกต่อไป แหล่งความร้อนลำแสงอิเล็กตรอนสามารถรับความหนาแน่นของพลังงานที่มีขนาดใหญ่กว่าแหล่งความร้อนความต้านทานและค่าสามารถถึง 104-109W/cm2 ดังนั้นฟิล์มจึงสามารถทำให้ร้อนได้ถึง 3000-6000C

สิ่งนี้ให้แหล่งความร้อนที่ดีขึ้นสำหรับการระเหยโลหะทนไฟและวัสดุที่ไม่ใช่โลหะเช่นทังสเตนโมลิบดีนัมเจอร์เมเนียม SiO2 AI2O3 ฯลฯ นอกจากนี้วัสดุที่ระเหยจะถูกวางไว้ในความร้อนของวัสดุ

นอกจากนี้ความร้อนสามารถเพิ่มโดยตรงไปยังพื้นผิวของวัสดุฟิล์มดังนั้นประสิทธิภาพความร้อนจึงสูงและการนำความร้อนและการสูญเสียการแผ่รังสีความร้อนมีขนาดเล็ก

3. การชุบการระเหยความร้อนแบบอาร์ค: วิธีการทำความร้อนคล้ายกับวิธีการทำความร้อนลำแสงอิเล็กตรอนคือวิธีการทำความร้อนแบบคายประจุอาร์ค นอกจากนี้ยังมีลักษณะของการหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของวัสดุทำความร้อนความต้านทานหรือวัสดุเบ้าหลอมและมีลักษณะของอุณหภูมิความร้อนสูงโดยเฉพาะอย่างยิ่งเหมาะสำหรับการระเหยของโลหะทนไฟกราไฟท์ ฯลฯ ที่มีจุดหลอมเหลวสูงและการนำไฟฟ้าบางอย่าง

ในเวลาเดียวกันอุปกรณ์ที่ใช้ในวิธีนี้ง่ายกว่าอุปกรณ์ทำความร้อนลำแสงอิเล็กตรอนดังนั้นจึงเป็นอุปกรณ์ระเหยที่ราคาไม่แพง

4. การชุบการระเหยของลำแสงเลเซอร์: วิธีการใช้เลเซอร์ความหนาแน่นพลังงานสูงพัลส์พัลส์เพื่อระเหยวัสดุเพื่อสร้างฟิล์มบาง ๆ โดยทั่วไปเรียกว่าเลเซอร์ระเหย

5. การชุบระเหยการระเหยความร้อนสูงความถี่สูง: ใช้หลักการของการเหนี่ยวนำให้ความร้อนเพื่อให้ความร้อนกับอุณหภูมิการระเหย

เบ้าหลอมที่มีวัสดุฟิล์มถูกวางไว้ที่กึ่งกลางของขดลวดเกลียวและกระแสไฟฟ้าความถี่สูงจะถูกส่งผ่านขดลวดเพื่อให้วัสดุฟิล์มโลหะสามารถสร้างกระแสไฟฟ้าให้ความร้อนได้จนกว่ามันจะระเหย

คุณสมบัติของการเหนี่ยวนำความร้อนระเหยแหล่งที่มา:

1. อัตราการระเหยสูง

2. อุณหภูมิของแหล่งกำเนิดระเหยมีความสม่ำเสมอและมีความเสถียรและไม่ใช่เรื่องง่ายที่จะผลิตปรากฏการณ์สาดอลูมิเนียม

3. แหล่งที่มาของการระเหยถูกชาร์จในครั้งเดียวไม่จำเป็นต้องใช้กลไกการให้อาหารลวดการควบคุมอุณหภูมิค่อนข้างง่ายและการดำเนินการง่ายๆ

4. ข้อกำหนดสำหรับความบริสุทธิ์ของวัสดุเมมเบรนนั้นกว้างขึ้นเล็กน้อย

เครื่องเคลือบสูญญากาศการระเหยด้วยความร้อนเครื่อง