แกนกลางของระบบการสะสม DC Magnetron Sputtering อยู่ในการผสมผสานที่แยบยลของแหล่งจ่ายไฟ DC และสนามแม่เหล็ก ในสภาพแวดล้อมสูญญากาศแหล่งจ่ายไฟ DC ใช้สนามไฟฟ้าแรงสูงระหว่างเป้าหมายและสารตั้งต้น เมื่อความแรงของสนามไฟฟ้ามีขนาดใหญ่พอโมเลกุลก๊าซเฉื่อยที่เข้าสู่ห้องสูญญากาศจะถูกทำให้เป็นพลาสมา ไอออนบวกในพลาสม่าเหล่านี้จะถูกเร่งภายใต้การกระทำของสนามไฟฟ้าและตีพื้นผิวของเป้าหมายด้วยความเร็วสูงมาก
ในระหว่างกระบวนการชนกันอะตอมหรือโมเลกุลบนพื้นผิวของเป้าหมายจะถูกสปัตเตอร์ออกมาเพราะพวกเขาได้รับพลังงานเพียงพอที่จะสร้างอนุภาคสปัตเตอร์ อนุภาคเหล่านี้บินในสุญญากาศและในที่สุดก็สะสมบนพื้นผิวของพื้นผิวเพื่อสร้างฟิล์มที่ต้องการ เป็นที่น่าสังเกตว่ากระบวนการนี้ไม่ได้เป็นเพียงการชนทางกายภาพที่เรียบง่าย แต่ยังมาพร้อมกับปฏิกิริยาทางกายภาพและสารเคมีที่ซับซ้อนเช่นการวางตัวเป็นกลางของไอออนการจับอิเล็กตรอนและการปล่อยอีกครั้ง ฯลฯ
การสปัตเตอร์ DC อย่างง่ายอาจทำให้เกิดปัญหาเช่นสารตั้งต้นความร้อนสูงเกินไปและประสิทธิภาพการสปัตเตอร์ต่ำ DC Magnetron Sputtering Deposition System แนะนำสนามแม่เหล็ก เครื่องกำเนิดสนามแม่เหล็กสร้างสนามแม่เหล็กที่แข็งแกร่งที่ด้านหลังของเป้าหมาย สนามแม่เหล็กนี้มีปฏิสัมพันธ์กับสนามไฟฟ้าเพื่อผูกอิเล็กตรอนใกล้กับพื้นผิวเป้าหมายซึ่งเป็นภูมิภาคพลาสมาที่มีความหนาแน่นสูง อิเล็กตรอนเหล่านี้ทำการเคลื่อนที่แบบเกลียวในสนามแม่เหล็กเพิ่มความถี่ของการชนกับโมเลกุลของก๊าซที่ทำงานปรับปรุงประสิทธิภาพการแตกตัวของไอออนและอัตราการสปัตเตอร์
สรุประบบ
การเคลือบไอออนและสปัตเตอร์แบบหลายอาร์คสามารถฝากได้ในหลากหลายสี เสียงดังขึ้นสามารถเพิ่มขึ้นได้โดยการแนะนำก๊าซปฏิกิริยาเข้าไปในห้องในระหว่างกระบวนการสะสม ก๊าซปฏิกิริยาที่ใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับการเคลือบตกแต่ง ได้แก่ ไนโตรเจน, ออกซิเจน, อาร์กอนหรืออะเซทิลีน การเคลือบตกแต่งจะผลิตในช่วงสีที่แน่นอนขึ้นอยู่กับอัตราส่วนโลหะต่อก๊าซในการเคลือบและโครงสร้างของการเคลือบ ปัจจัยทั้งสองนี้สามารถเปลี่ยนแปลงได้โดยการเปลี่ยนพารามิเตอร์การสะสม
ก่อนที่จะมีการสะสมชิ้นส่วนจะถูกทำความสะอาดเพื่อให้พื้นผิวปราศจากฝุ่นหรือสิ่งสกปรกทางเคมี เมื่อกระบวนการเคลือบได้เริ่มต้นพารามิเตอร์กระบวนการที่เกี่ยวข้องทั้งหมดจะได้รับการตรวจสอบและควบคุมอย่างต่อเนื่องโดยระบบควบคุมคอมพิวเตอร์อัตโนมัติ
•วัสดุพื้นผิว: แก้ว, โลหะ (เหล็กกล้าคาร์บอน, สแตนเลส, ทองเหลือง) เซรามิก, พลาสติก, เครื่องประดับ
•ประเภทโครงสร้าง: โครงสร้างแนวตั้ง #304 สแตนเลส
•ฟิล์มเคลือบผิว: ฟิล์มโลหะอเนกประสงค์, ฟิล์มคอมโพสิต, ฟิล์มนำไฟฟ้าแบบโปร่งใส, ฟิล์มที่เพิ่มขึ้นสะท้อนแสง, ฟิล์มป้องกันแม่เหล็กไฟฟ้า, ฟิล์มตกแต่ง
•สีฟิล์ม: หลายสี, ปืนสีดำ, สีทองไทเทเนียม, สีทองกุหลาบ, สีสแตนเลส, สีม่วง, สีดำเข้ม, สีน้ำเงินเข้มและสีอื่น ๆ
•ประเภทภาพยนตร์: TIN, CRN, ZRN, TICN, TICRN, TINC, TIALN และ DLC
•วัสดุสิ้นเปลืองในการผลิต: ไทเทเนียม, โครเมียม, เซอร์โคเนียม, เหล็ก, เป้าหมายโลหะผสม; เป้าหมายระนาบเป้าหมายทรงกระบอกเป้าหมายคู่เป้าหมายตรงข้ามเป้าหมาย
แอปพลิเคชัน:
•เครื่องแก้วเช่นถ้วยแก้วโคมไฟแก้วงานศิลปะแก้ว
•เปลือกโทรศัพท์พลาสติกชิ้นส่วนโทรศัพท์
•กระเบื้องโมเสค
•อุตสาหกรรมอิเล็กตรอนเช่นภาพยนตร์ EMI
•นาฬิกาชิ้นส่วนเช่นเคสดูและเข็มขัด
•เครื่องใช้บนโต๊ะเช่นส้อมโลหะและมีด
•เครื่องกอล์ฟเช่นหัวกอล์ฟเสากอล์ฟและลูกกอล์ฟ
•ผลิตภัณฑ์สุขาภิบาล/เครื่องใช้ในห้องน้ำ
•มือจับประตูและล็อค
•เครื่องประดับโลหะ